대분류
중분류
소분류
비고
협의적
유지관리
청정도관리
Clean Room 입,출 절차 관리
Filter Leak 관리
Interior(건축물)관리
Air Shower 관리
청소(Cleaning)관리
환경관리
온,습도 관리
차압관리
기류관리
정전기관리 etc...
광의적 유지관리
System 관리
H.V.A.C system 장비관리
협의적 유지관리 포함
Room
압력차 (mmAq)
청정도 Class가 다른 Clean Room
0.5
Clean Room과 Clean복도
·
갱의실
0.5~1.0
Clean
·
갱의실 등과 일반실
1.0
Clean Room과 일반실
1.5
청정도
환기횟수(회/h)
Class 100
200~600
1,000
50~70
10,000
30~40
100,000
20~30
